【摘 要】
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飞秒激光三维微细加工技术具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等特点，因此获得越来越多的关注，但其串行工艺加工效率低是其技术难点．为了提高加工效率，搭建了一套飞秒激光
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械和精密仪器系SPM实验室,中国科学院西安光机所瞬态光学国家重点实验室
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飞秒激光三维微细加工技术具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等特点，因此获得越来越多的关注，但其串行工艺加工效率低是其技术难点．为了提高加工效率，搭建了一套飞秒激光并行加工平台，利用微透镜阵列实现飞秒激光分束聚焦，初步实现了双光子微细并行加工，在光敏树脂和玻璃上分别并行加工出多个二维结构，加工单点分辨率达到1．25μm．针对实验结果，对实验的加工一致性和分辨率进行分析，提出了进一步提高加工效率和加工一致性的方法．
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