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描述一个有机胶体掺杂剂的半导体硅的激光辐照掺杂方法;P型和N型两种硅单晶进行了砷、磷和硼的掺杂,并研究了掺杂区的电和光电特性。
激光辐照半导体硅的掺杂研究
【摘 要】
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描述一个有机胶体掺杂剂的半导体硅的激光辐照掺杂方法;P型和N型两种硅单晶进行了砷、磷和硼的掺杂,并研究了掺杂区的电和光电特性。
【机 构】
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复旦大学物理系
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1983年10期
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