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高效气体尘埃超净过滤器的研制王瑞升邱长春（中国科学院大连化学物理研究所大连１１６０１２）１前言作为高（超）纯气体净化设备最后一关的气体尘埃过滤器，在设备中起着至关重要的作用，对它的要求随着电子工业的发展而愈加严格，在大规格集成电路中，电子线路的宽度只...
高效气体尘埃超净过程器的研制
【摘 要】
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高效气体尘埃超净过滤器的研制王瑞升邱长春（中国科学院大连化学物理研究所大连１１６０１２）１前言作为高（超）纯气体净化设备最后一关的气体尘埃过滤器，在设备中起着至关重要的作用，对它的要求随
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年3期
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