【摘 要】
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主要介绍直线运动误差检测、补偿系统中微动伺服机构的工作原理选择，参数的优化设计和为提高频响而设计的有源高压放电回路，及其静、动态特性和数学模型。
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主要介绍直线运动误差检测、补偿系统中微动伺服机构的工作原理选择，参数的优化设计和为提高频响而设计的有源高压放电回路，及其静、动态特性和数学模型。
This paper mainly introduces the detection of linear motion error, the selection of the working principle of the micro-servo mechanism in the compensation system, the optimal design of the parameters and the active high-voltage discharge circuit designed to improve the frequency response, as well as the static and dynamic characteristics and mathematical models.
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