【摘 要】
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微纳三维功能结构的制备对于高性能MEMS器件的研究具有重要意义。利用COMSOL仿真分析了力场辅助电喷射打印三维结构的过程,采用理论分析与数值仿真的方法,研究了力场辅助成形
【机 构】
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大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室
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微纳三维功能结构的制备对于高性能MEMS器件的研究具有重要意义。利用COMSOL仿真分析了力场辅助电喷射打印三维结构的过程,采用理论分析与数值仿真的方法,研究了力场辅助成形机理,分析了不同电场工艺参数对微结构成型的影响。通过改变电压、间距、电极尺寸等参数,可以对结构成型产生影响。结果表明,该仿真模型为这种三维打印新方法提供了理论依据,对于实现微米尺度三维结构的打印制造具有重要意义。
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