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本文对全息曝光技术进行了分析，给出了二次曝光的典型再现光路，并且对制造微电子集成电路上的应用作了展望。
二次曝光全息干涉技术及其应用
【摘 要】
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本文对全息曝光技术进行了分析，给出了二次曝光的典型再现光路，并且对制造微电子集成电路上的应用作了展望。
【机 构】
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山东工程学院电气工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年03期
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