【摘 要】
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电子级超纯水的水质直接影响产品质量，且需求量巨大。介绍了一种“一级反渗透系统（RO）+超级电去离子（SEDI）”组合的超纯水制备新工艺，该新工艺在主流超纯水制备工艺的基础上，在SEDI装置前端仅用一级RO,进水硬度放宽到5.0 mg/L,SEDI本体电耗仅0.25 kW·h/m~3（以产水计）,实现了节省初期工程投资、节约土地、减少运行电能消耗及生产高品质超纯水的目的。
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电子级超纯水的水质直接影响产品质量，且需求量巨大。介绍了一种“一级反渗透系统（RO）+超级电去离子（SEDI）”组合的超纯水制备新工艺，该新工艺在主流超纯水制备工艺的基础上，在SEDI装置前端仅用一级RO,进水硬度放宽到5.0 mg/L,SEDI本体电耗仅0.25 kW·h/m~3（以产水计）,实现了节省初期工程投资、节约土地、减少运行电能消耗及生产高品质超纯水的目的。
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