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采用双层辉光离子渗技术在Ti6A14V合金表面进行多元合金化，形成均匀致密的Cr—Mo合金渗层。通过GDOES、XRD等手段标定表层成分和相结构，借助显微硬度计和球盘磨损仪测试合金渗层的性能。结果表明：合金渗层中合金化元素Cr与Mo呈梯度分布，主要由化合物Cr1.93Ti1.07、Cr2Ti、Cr2Ti4O11等相构成；改性的Ti6A14V合金表面硬度有较大程度的提高，抗磨损性能明显改善。