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研究了用于检测挥发性有机化合物（VOC）蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局，以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数，以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量。该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力。
用于检测VOC蒸汽的声表面波传感器阵列
【摘 要】
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研究了用于检测挥发性有机化合物（VOC）蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局，以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数，以降低设计难度。使用参考环路以精确读
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2013年2期
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