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钨和钼材料具有高熔点、高热导率、低溅射率等优点成为国际热核实验反应堆计划中面向等离子体材料的候选材料。因此研究钨和钼材料的辐照损伤行为对于认识面向等离子体材料的辐照损伤机制具有重要意义。本文采用120 eV的He’在873 K对钨和钼材料进行辐照实验，利用纳米压痕仪与导电模式原子力显微镜（Conductive Atomic Force Microscopy，CAFM）相结合，原位比较了钨和钼材料在辐照前后的表面形貌、表面微结构以及表层缺陷分布的变化特征。结果表明，低能He’辐照会导致钨和钼材料的近表面产生