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LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究
LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanglei15950225270
【摘 要】
:
介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝
【作 者】
:
郑佳晶
孙敏
张金凤
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2013年09期
【关键词】
:
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
湿法腐蚀
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介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求。
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