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分析了微球阵列测量法的特征和应用情况，并采用该法对5种微米、亚微米单分散二氧化硅微球粒度标准物质进行了测量。其平均粒径可溯源到中国计量科学研究院标准长度。经与溯源至美国国家标准技术研究院标准长度的测量结果相对照，两个测量结果一致。证明微球阵列测量法可以应用到亚微米级单分散微球粒度标准物质的定值。