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用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝(AL2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响.
陶瓷激光精密打孔工艺研究
【摘 要】
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用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝(AL2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响.
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2001年3期
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