超微进给工作台及超薄切片机

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本文论证了几种可行的方案,设计了一个小型的一维超微进给工作台,并介绍了我校研制的CQR-Ⅲ型超薄切片机的工作原理,设计要点和使用情况,该机可切厚度为5-15nm的电镜样品,其允许的厚度误差仅为±5nm。
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