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期刊论文
超声波去蜡清洗技术研究
超声波去蜡清洗技术研究
来源 :天津科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong466
【摘 要】
:
超声波清洗技术是半导体材料制备的主要清洗方法,极大地提高了半导体材料制备的工作效率和清洗效果。阐述了超声波清洗作用原理。通过调节超声机功率密度、频率,进行晶片去蜡清
【作 者】
:
赵金辉
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
天津科技
【发表日期】
:
2014年11期
【关键词】
:
超声波
去蜡
功率密度
频率
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超声波清洗技术是半导体材料制备的主要清洗方法,极大地提高了半导体材料制备的工作效率和清洗效果。阐述了超声波清洗作用原理。通过调节超声机功率密度、频率,进行晶片去蜡清洗实验,验证、分析了超声清洗过程中超声机功率密度、频率对晶片去蜡清洗的影响。
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