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本文采用真空气相物理沉积技术,在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO2有很高的灵敏度和良好的选择性,能检测出空气中1ppm浓度的NO2,响应时间几十秒、恢复时间几分钟。在320℃下进行退火处理,传感器的稳定性和重复性有明显的改善。更多还原
高灵敏的酞菁铜薄膜NO_2气体传感器
【摘 要】
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本文采用真空气相物理沉积技术,在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO2有很高的灵敏度和良好的选择性,能检测出空气中1ppm浓度的NO2,响应时间几十
【机 构】
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江西大学化学系,中科院电子学研究所,中科院电子学研究所南昌330047,南昌330047,北京100080,北京100080
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1993年2期
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