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给出了基于纳米硬度试验的表层薄膜的硬度测算方法.首先研究如何利用有限元计算弥补纳米硬度测量在压痕深度小于百纳米时的精度缺陷,进而探讨薄膜-基体材料系统的硬度随压痕深度变化的规律,最后导出了根据实验曲线预测表层薄膜材料的硬度的公式,并进行了实验验证.
材料表面薄膜硬度的测试计算
【摘 要】
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给出了基于纳米硬度试验的表层薄膜的硬度测算方法.首先研究如何利用有限元计算弥补纳米硬度测量在压痕深度小于百纳米时的精度缺陷,进而探讨薄膜-基体材料系统的硬度随压痕
【机 构】
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StateKeyLab.ofNonlinearMechanics
【出 处】
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中国航空学报：英文版
【发表日期】
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2003年1期
【基金项目】
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中国科学院资助项目，国家自然科学基金，科技部资助项目
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