【摘 要】
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为使大尺寸印制板能够进行低温等离子处理，设计了大型等离子处理设备，该设备具有真空度可调的真空系统、电极可冷却的电源系统及基于可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicControl
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为使大尺寸印制板能够进行低温等离子处理，设计了大型等离子处理设备，该设备具有真空度可调的真空系统、电极可冷却的电源系统及基于可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicControl，PLC）和触摸屏的控制系统。文中简要介绍了大型等离子处理设备的组成及工作方式，详细阐述了真空系统设计，包括真空泵组选型计算和基于有限元的真空腔体结构优化设计。实践证明，该设备具有等离子体产生速度快、腔体温度控制效果好等特点，达到了国内领先水平。
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