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采用磁控溅射法在Si（100）衬底上制备了Zn0.98Cr0.02O薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱分析仪（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）和综合物性测量系统（PPMS）对所制备的样品进行了结构、成分、形貌和磁性能分析，研究了衬底温度对薄膜的结构、形貌和磁性能的影响。XRD分析表明，Zn0.98Cr0.02O薄膜样品具有纤锌矿结构，呈c轴择优取向生长；XPS显示薄膜样品中的cr离子是＋3价。磁性测量表明，Zn0.98Cr0.02O薄膜具有明显的室温铁磁性，且随着衬底温度的升高，薄膜的铁