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空心阴极弧蒸发装置中的等离子体条件的确定

来源 :等离子体应用技术快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wio120we

【作 者】

：

拾灵 

【出 处】

：

等离子体应用技术快报

【发表日期】

：

2000年9期

【关键词】

：

空心阴极弧蒸发装置 等离子体 

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