全息尺及其制造用的装置

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本专利阐述一种制造全息光栅尺的技术,这种全息光栅尺可用于数控机械。这种全息光栅尺与以往的两束相干激光束直接制造的全息尺不同,本专利提出用干涉方法制造全息光栅母尺,也可用电子束法或其他方法 This patent describes a technology for manufacturing holographic scale, which can be used for numerical control machinery. This holographic grating with the previous two coherent laser beam directly manufactured holographic scale is different from the patent proposed interference method for the manufacture of holographic grating ruler can also be used electron beam method or other methods
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