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氯甲基三氯硅烷(ClCH2SiCl3)是以一甲基三氯硅烷(CH3SiCl3)为原料,在光的催化经氯化而成。本方法采用Cl2为氯化剂,在可见光(白炽灯)催化下,气相法合成ClCH2SiCl3。研究了光源特性(如光源强度,波长)及反应器材质对光氯化反应的影响,从而确定了氯化反应所需要的能量及反应参数,并且从理论上对反应机理、特性进行了论述。