电子光学技术的新进展

来源 :冶金分析与测试(冶金物理测试分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:DK3884123
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在简要地回顾了电子光学仪器的发展历史及电子和物质的相互作用之后,文中分别介绍了透射电子显微镜、扫描电子显微镜、扫描透射电子显微镜(分析电子显微镜)、电子探针和俄歇能谱仪的新近发展。文章最后对如何选择电子光学仪器表明了作者的看法。 After briefly reviewing the history of the development of electronic optics and the interaction between electrons and matter, this paper introduces the progress of electronic optics, including transmission electron microscopy, scanning electron microscopy, scanning transmission electron microscopy (TEM), electron probe and Auger spectroscopy The recent development of the instrument. The article concludes with an author’s opinion on how to choose electronic optics.
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