晶体退火炉温度控制策略研究

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根据晶体退火炉的温度控制要求,提出了一种模糊自适应PID温度控制策略,阐述了控制系统的软、硬件设计。实验证明系统具有较好的动态和静态性能,能满足实际需要。
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