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日本电子近日上市了电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”。该产品具备获取并分析表面和内部三维图像的能力，除了聚焦离子束（FIB）加工和SEM观测功能外，还可利用能量分散型X射线分析装置（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）系统进行分析。
电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置
【摘 要】
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日本电子近日上市了电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”。该产品具备获取并分析表面和内部三维图像的能力，除了聚焦离子束（FIB）加工和SEM观测功能外，还可
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2008年2期
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