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超硬多层薄膜的研究现状及展望
超硬多层薄膜的研究现状及展望
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linlin1688
【摘 要】
:
超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近
【作 者】
:
李宁
宋绪丁
【机 构】
:
长安大学工程机械学院
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
2005年7期
【关键词】
:
超硬多层薄膜
超晶格薄膜
纳米多层膜
类金刚石
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超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.
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