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气相沉积

来源 :表面工程：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：XTOGM

【摘 要】

：

A Computational Study of Gas Phase Chemistry in Carbon Nanotube Synthes s by PECVD;A field point based approach for sensor conditioning in MO-CVD reactors;A Met

【出 处】

：

表面工程：英文版

【发表日期】

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2005年2期

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A Computational Study of Gas Phase Chemistry in Carbon Nanotube Synthes s by PECVD;A field point based approach for sensor conditioning in MO-CVD reactors;A Method for Real-Time Control of Thin Film Composition Using OES and XPS;A mechanism-based model of

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