制造高性能恒流管的工艺研究

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<正> 一.引言 硅恒流管由于恒流范围大,输出电导低,无需偏置电源和使用方便等优点,广泛用于交直流放大器、稳压源、锯齿波发生器、脉冲宽度调制器、射极跟随器等等电子线路中。随着仪器仪表、自动控制、载波通讯、航天卫星等方面恒流管使用的范围日益增大,对恒流管的性能要求也不断地提高而苛刻。用户要求恒流管动态电阻r_d与击穿电压V_B尽可能大些,夹断时外加电压V_P与温度系数α_1(指绝对值)尽可能小些。由于半导体器件制造的国产化设备、工艺条件与检测手段、外延材料质量等与国外的先进水平有着一定距离,国内
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