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文章分析了SiC硬脆材料加工方法,建立了金刚石多线切割SiC晶体的材料去除率模型,并基于Matlab计算已知条件下的材料去除率随时间变化的规律,根据材料去除率模型进行切割试验,得出材料去除率对SiC晶片翘曲度的影响,采用TROPEL FM-100平坦度测试仪分析SiC切割片表面形貌。
金刚石多线切割材料去除率对SiC晶片翘曲度的影响
【摘 要】
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文章分析了SiC硬脆材料加工方法,建立了金刚石多线切割SiC晶体的材料去除率模型,并基于Matlab计算已知条件下的材料去除率随时间变化的规律,根据材料去除率模型进行切割试验,
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2016年1期
【基金项目】
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科技部国家国际合作专项项目（2014DFR10270）, 国家自然科学资金资助项目（编号：61404117）
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