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以CdCl2和Na2S2O3混合溶液为电解液，采用电沉积法在ITO导电玻璃基片上制备了CdS纳米薄膜。讨论了沉积电压、热处理等工艺因素对薄膜的影响。分别采用X射线衍射仪（XRD），电子色散能谱仪（EDS）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）分析了硫化镉薄膜的物相结构和表面形貌。结果表明制备的硫化镉薄膜热处理前为非晶相，热处理后的硫化镉薄膜出现六方纤锌矿CdS相。沉积电压非常重要，小于4．0V时，制备的硫化镉薄膜由六方纤锌矿CdS相和六方相金属Cd组成。