【摘 要】
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将银粉、有机载体和玻璃粉按一定比例混合制成导电银浆。银浆通过丝网印刷在硅基片上,保温烧结。采用SEM、四探针法研究银粉的不同粒径与形貌对银浆烧结厚膜层方阻的影响。结
【机 构】
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昆明理工大学材料科学与工程学院,贵研铂业股份有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金(51262017;51362017);稀贵金属先进材料协同创新中心协同创新基金(14051708);稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室开放课题(SKL-SPM-201502)
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将银粉、有机载体和玻璃粉按一定比例混合制成导电银浆。银浆通过丝网印刷在硅基片上,保温烧结。采用SEM、四探针法研究银粉的不同粒径与形貌对银浆烧结厚膜层方阻的影响。结果表明,随着球形银粉粒径增大,银膜方阻先减小后增大,当球形银粉粒径在2μm时银膜方阻最小,为4.44Ω/□;当2μm片状银粉和2μm球形银粉混合加入时,银膜方阻最小,为3.95 mΩ/□;随着片银的含量增加,银膜方阻先减小后增大,当片状银粉为50%时银膜方阻最小,为3.92 mΩ/□。
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