【摘 要】
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采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明：随着氮
【机 构】
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河北农业大学机电工程学院,河北省轻金属合金材料工程技术研究中心,河北农业大学现代教育技术中心
【基金项目】
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河北省自然科学基金项目（E2009000646）, 河北农业大学社科基金和理工基金（LG20120101）
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采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明：随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10^-10～3.5×10^-10m^3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10^-10～3.5×10^-10m^3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,
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