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分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源，并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定。
校准厚度片测量不确定度评定
【摘 要】
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分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源，并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定。
【机 构】
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中国一航北京长城计量测试技术研究所,山东省科学院激光研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2009年4期
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