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一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其步骤包括：用99．99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到紫铜底板上；将清洗后的基底装在基底夹具上，
紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法
【摘 要】
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一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其步骤包括：用99．99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到
【出 处】
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无机盐工业
【发表日期】
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2006年5期
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