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作为制取炭薄膜原料之一的两种耐高温聚酰亚胺薄膜在高纯氮气流条件下形成炭膜过程中对其元素组成变化进行了研究。结果表明，两种样品中均含有碳、氢、氮和氧等四种成分。在５００℃以前各种元素含量变化不大。在此温度之后，碳元素含量随炭化温度的升高而增加。而且，在６００～７００℃温度之间增加最快。但是，氧元素的含量在７５０℃以前下降最多；氢元素的含量却一直在下降；氮元素的含量在６００℃以后开始明显地减少。同时，Ｏ／Ｃ、Ｈ／Ｃ和Ｎ／Ｃ比例随炭化热解温度的增加而减小反映了递进的炭化作用。另外，还讨论了两种样品从室温到高温各元素组成变化的差异。