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以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜. 当使用Pd（hfac）2和PtMe2（COD）为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积. 金属Pd和Pt顺序沉积可形成Pd-Pt双层膜.
聚酰亚胺上催化剂增强化学气相沉积钯-铂双层膜
【摘 要】
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以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜. 当使用Pd（hfac）2和PtMe2（COD）为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积. 金属Pd
【机 构】
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中国地质大学材料科学与化学工程学院,华中科技大学化学系,中国科学院化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室
【出 处】
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催化学报
【发表日期】
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2006年6期
【基金项目】
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Supported by the National Natural Science Foundation of China （40172018, 20275011）.
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