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运用两种不同的纳米尺度或原子尺度测量分析方法分析同一个样品,对完全掌握一种材料或产品的属性至关重要,这种优势互补的分析方法特别适用于测定MOSFET、FINFET等新一代纳米级晶体管的掺杂分布情况.本文综合电子断层扫描技术(ET)与原子探针层析技术(APT)两种表征方法,研究纳米级晶体管中硼原子空间分布特征.本文采用电子断层扫描技术,结合原子级分辨率离子弹道仿真实验,以修正原子探针层析技术的三维重构图像失真.APT三维重构技术能够对样品器件进行详细的化学分析.