基体温度对磁控溅射CrN涂层微观结构和性能的影响

来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sansancaicai

【摘要】

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【作者】

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齐东丽宋健宇沈龙海

【出处】

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热加工工艺

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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CrN 磁控溅射微观结构力学性能摩擦磨损性能

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