我国研制成功300mm多线切割机

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由中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一的300mm硅材料多线切割机近日研制成功,打破了国内生产线上运行的300mm多线切割机全部为进口设备的现状。
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