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在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷--管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响.针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真空模型,指出了解决该缺陷的方法和依据.
闭空间气源对器件真空性能的影响
【摘 要】
：
在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷--管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响.针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真
【机 构】
：
电子科技大学
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
：
2007年2期
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