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为了保证用语义Web服务标记语言（OWL-S）描述的组合Web服务的可靠性，确保组合服务具有较高的系统性能，提出了一种用广义随机Petri网（GSPN）对OWL_S过程模型进行建模、分析、验证以及评估的方法．首先给出从OWL-S过程模型到GSPN的映射规则和转换方法，然后针对得到的GSPN模型，采用S-不变量、T-不变量，通过可达性等分析方法验证OWL-S过程模型的正确性，最后构造与GSPN同构的马尔可夫链，并根据其稳定状态概率进行系统性能评价．经数学工具验证结果表明，所建模型是正确、可靠的，并发现了组合