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提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案，该平台可实现水平面内的两自由度精密运动。在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上，建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析，设计研制了试验样机，并从运动性能和承载能力两个方面对样机进行了实验研究。实验结果表明，设计的压电薄膜型精密运动平台结构简单、体积小、质量轻、步距稳定且行程大．电压低于30V驱动时，步距误差不超过0．5μm，承载能力约为自身质量的7～8倍。