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本文探讨扫描电镜的低电压操作模式在材料分析中的应用.介绍了用低加速电压观测样品时,信号多来源于材料的表面,电压越低,观测的形貌效果越接近表层.
扫描电镜低电压条件下的应用
【摘 要】
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本文探讨扫描电镜的低电压操作模式在材料分析中的应用.介绍了用低加速电压观测样品时,信号多来源于材料的表面,电压越低,观测的形貌效果越接近表层.
【机 构】
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华南理工大学测试中心电镜室(广东广州)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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