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通过引入匹配透镜而改进了激光反馈干涉测振系统,使系统能够测量具有粗糙表面的样品以及线度小至微米级的样品。还大大放宽了样品的对准容差约一个量级。
一种改进的激光反馈干涉测振系统
【摘 要】
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通过引入匹配透镜而改进了激光反馈干涉测振系统,使系统能够测量具有粗糙表面的样品以及线度小至微米级的样品。还大大放宽了样品的对准容差约一个量级。
【机 构】
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南开大学物理系
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1984年11期
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