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超大规模集成电路的一些材料物理问题(I)——Cu互连和金属化
超大规模集成电路的一些材料物理问题(I)——Cu互连和金属化
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hesur
【摘 要】
:
21世纪初,超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸将由150nm逐代缩至50nm。文章以100nmULSI器件为主,简要介绍与互连相关的一些材料物理问题,其中包括Cu互连、金属化及低介电常数介质。
【作 者】
:
刘洪图
吴自勤
【机 构】
:
中国科学技术大学物理系,中国科学技术大学天文和应用物理系
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
2001年12期
【关键词】
:
超大规模集成电路
Cu
互连
金属化
特征尺寸
材料物理
铜
低介电常数介质
ULSI
Cu interconnect
metallization
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21世纪初,超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸将由150nm逐代缩至50nm。文章以100nmULSI器件为主,简要介绍与互连相关的一些材料物理问题,其中包括Cu互连、金属化及低介电常数介质。
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