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介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点.用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析.结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.
基于AFM的光盘形貌研究
【摘 要】
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介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点.用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析.结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.
【机 构】
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河南理工大学精密工程研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2005年5期
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