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综述了在微纳加工领域的最新技术发展一软刻蚀技术（soft lithography）和扫描探针刻蚀技术（scanning probe lithography），其中着重描述了软刻蚀技术中的复制模塑技术（replica molding，REM）和扫描探针刻蚀技术中的电致刻蚀加工技术，阐述了它们各自的加工原理和特点，并应用这些技术制作出一些周期性微纳织构表面。