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本文利用气固反应方法在锆、氢化锆表面制备厚为5～20μm的抗氢渗透涂层.借助光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)对涂层进行形貌观察;由电子衍射能谱(EDS)进行成分分析;用X射线衍射仪对涂层进行物相分析.分析结果表明:涂层表面均匀、致密,厚度为20μm左右;涂层中含有Zr、C、O、P等元素,且O有明显的扩散;涂层中存在具有致密结构的氧化锆、磷化锆等物相,可能还存在锆的碳化物相.