论文部分内容阅读
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构.实践证明,所提出的工艺实际可行,进一步拓展了准LIGA工艺的应用.
多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究
【摘 要】
：
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构.实践证明,所提出的工
【机 构】
：
上海交通大学
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2005年1期
其他文献
运用调查法、访谈法和数理统计法，对湖北省15所普通高校体育舞蹈课的教学现状进行调查。结果显示，体育舞蹈走进湖北省高校课堂已有十多年的历史，体育舞蹈对培养人才具有重要作用
金刚石薄膜的表面平整是金刚石薄膜应用于光学、电学等领域的关键.采用氧气作气源,研究了微波等离子体工艺参数如微波功率、基台位置、氧气流量对平整金刚石薄膜效果的影响.
bokwa是一种新型的健身操,虽然兴起的时间不长但在全世界得到大范围的普及。该文主要采用文献资料法、访谈法、调查问卷法进行研究,并且通过和哈市其他几项健身操的对比得出b
体育教学中体育课是基本组织形式,课外活动是体育课的继续、延伸和补充。体育课的系统性、连续性、全面性、稳定性和法定性,要求组织、指导学生进行身体练习,承担一定的运动