【摘 要】
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将表面粗糙度作为评价垂直布里奇曼法砷化镓（VB-GaAs）抛光片表面质量的一项技术指标,研究了不同粒径的抛光液对VB-GaAs抛光片表面粗糙度的影响。通过试验对比,对于不同抛光阶段
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将表面粗糙度作为评价垂直布里奇曼法砷化镓（VB-GaAs）抛光片表面质量的一项技术指标,研究了不同粒径的抛光液对VB-GaAs抛光片表面粗糙度的影响。通过试验对比,对于不同抛光阶段（包括粗抛、细抛及精抛三个阶段）进行了分析,粗抛阶段应采用较大粒径的抛光液,细抛阶段应采用稍小粒径的抛光液,而精抛阶段应采用小粒径的抛光液。
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